Средства для измерения и контроля вакуума
« Назад Манометр - прибор для измерения давления или разности давления. Вакуумметр - манометр для измерения давления разряженного газа или пара. Абсолютный вакуумметр - вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам. Дифференциальнный вакуумметр - вакуумметр для измерения разности давлений по обе стороны от разделительного чувствительного элемента. Вакуумметр полного давления - вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси. Измерительный преобразователь давления - первичный измерительный преобразователь, воспринимающий непосредственно измеряемое давление и преобразующий его в другую физическую величину. Открытый преобразователь двигателя - преобразователь двигателя, в котором электродная система не имеет герметизированного корпуса и проводимость между ее центром и входным сечением присоединительного патрубка ≥2·10-2м3/с. Закрытый преобразователь давления - преобразователь давления, где электродная система заключена в герметизированный корпус и проводимость между ее центром и выходным сечением присоединительного патрубка <2·10-2м3/с. Измерительный блок вакуумметра - часть вакуумметра, которая предназначена для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержит блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы прибора. Отчетное устройство вакуумметра - часть измерительного блока вакуумметра, предназначенного для регистрации значений измеряемого параметра. Масс-спектрометр - прибор для количественного и качественного определения состава и структуры вещества, изучения физико-химических процессов и явлений по масс-спектрам этих веществ. Индикатор с разрядной трубкой - прозрачная газоразрядная трубка, позволяющая по цвету и форме свечения разряда определить вид газа и его давление. Жидкостный вакуумметр- вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости. U-образный вакуумметр - жидкостный вакуумметр - жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых определяют по одному или нескольким уровням жидкости. Деформационный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления. Мембранный вакуумметр - деформационный вакуумметр, где чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка. Компрессионный вакуумметр - жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний предварительно сжимается. Вязкостный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разряженного газа от скорости движения в нем твердого тела и измеряемого давления. Тепловой вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления. Термопарный вакуумметр - тепловой вакуумметр, где использована зависимость электродвижущей силы термопары от измеряемого давления. Вакуумметр сопротивления - тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа. Термомолекулярный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей с различными температурами. Ионизационный вакуумметр - вакуумметр полного давления , где использована зависимость ионного тока , возникшего в газе при ионизации молекул разреженного газа, от давления. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников. Магнитный электроразрядный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости ионного тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления . Вакуумметр Пеннинга - магнитный электроразрядный вакуумметр, в преобразователи которого один из электродов состоит из двух соединенных между собой пластин, а другой (обычно анод) помещен между ними и имеет форму замкнутой рамки; при этом направление магнитного поля перпендикулярно к плоскости анодной рамки. Электронный ионизационный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого газ ионизируется электронами, ускоряемыми электрическим полем. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором- электронный ионизационный вакуумметр с уменьшенным фоновым давлением благодаря использованию в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, и укреплённого снаружи сетки катода . Экстрактора вакуумметр - электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователи которого фоновый ток снижен путем применения в роли коллектора ионов короткой и тонкой проволоки , находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем - электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, где под действием магнитного поля увеличены траектория электронов и число образующихся ионов. Радиочастотный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются в радиочастотном продольном электрическом поле, образованном последовательно расположенными сетчатыми электродами (радиочастотными каскадами);при этом к коллектору проходят только ионы, ускоренные в радиочастотных каскадах. Квадрупольный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными цилиндрическими электродами. Монополярный масс-спектрометр- масс-спектрометр, где ионы разделяются в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов. Масс-спектрометр с магнитным отклонением - масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям. Циклоидальный масс-спектрометр- масс-спектрометр, где ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полям, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фокусируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду. Омегатронный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движение по спиральным траектория, в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных одно к другому. Времяпролетный масс-спектрометр - масс-спектрометр, где газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду. Диапазон измерений вакуумметра - область давлений, в который нормированы допускаемые погрешности измерений. Чувствительность вакуумметра - отношение изменения сигнала на выходе вакуумметра к вызывающему его изменению давления. Эквивалентное азотное давление - давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом. Фоновое давление вакуумметра - условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления.
« Назад |