Средства для измерения и контроля вакуума

Манометр - прибор для измерения давления или разности давления.

Вакуумметр - манометр для измерения давления разряженного газа или пара.

Абсолютный вакуумметр - вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам.

Дифференциальнный  вакуумметр - вакуумметр для измерения разности давлений по обе стороны от разделительного чувствительного элемента.

Вакуумметр полного давления - вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси.

Измерительный преобразователь давления - первичный измерительный преобразователь, воспринимающий непосредственно измеряемое давление и преобразующий его в другую физическую величину.

Открытый преобразователь двигателя - преобразователь двигателя, в котором электродная система не имеет герметизированного корпуса и проводимость между ее центром и входным сечением присоединительного патрубка  ≥2·10^-2м³/с.

Закрытый преобразователь давления - преобразователь давления, где электродная система заключена в герметизированный корпус и проводимость между ее центром и выходным сечением присоединительного патрубка <2·10^-2м³/с.

Измерительный блок вакуумметра - часть вакуумметра, которая предназначена для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержит блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы прибора.

Отчетное устройство вакуумметра - часть измерительного блока вакуумметра, предназначенного для регистрации значений измеряемого параметра.

Масс-спектрометр - прибор для количественного и качественного определения состава и структуры вещества, изучения физико-химических процессов и явлений по масс-спектрам этих веществ.

Индикатор с разрядной трубкой - прозрачная газоразрядная трубка, позволяющая по цвету и форме свечения разряда определить вид газа и его давление.

Жидкостный вакуумметр- вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости.

U-образный вакуумметр - жидкостный вакуумметр - жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых определяют по одному или нескольким уровням жидкости.

Деформационный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления.

Мембранный вакуумметр - деформационный вакуумметр, где чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка.

Компрессионный вакуумметр - жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний предварительно сжимается.

Вязкостный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разряженного газа от скорости движения в нем твердого тела и измеряемого давления.

Тепловой вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления.

Термопарный вакуумметр - тепловой вакуумметр, где использована зависимость электродвижущей силы термопары от измеряемого давления.

Вакуумметр сопротивления - тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа.

Термомолекулярный вакуумметр - вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей с различными температурами.

Ионизационный вакуумметр - вакуумметр полного давления , где использована зависимость ионного тока , возникшего в газе при ионизации молекул разреженного газа, от давления.

Радиоизотопный ионизационный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников.

Магнитный электроразрядный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости ионного тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления .

Вакуумметр Пеннинга - магнитный электроразрядный вакуумметр, в преобразователи которого один из электродов состоит из двух соединенных между собой пластин, а другой (обычно анод) помещен между ними и имеет форму замкнутой рамки; при этом направление магнитного поля перпендикулярно к плоскости анодной рамки.

Электронный ионизационный вакуумметр - ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого газ ионизируется электронами, ускоряемыми электрическим полем.

Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором- электронный ионизационный вакуумметр с уменьшенным фоновым давлением благодаря использованию в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, и укреплённого снаружи сетки катода .

Экстрактора вакуумметр - электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователи которого фоновый ток снижен путем применения в роли коллектора ионов короткой и тонкой проволоки , находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации.

Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем - электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, где под действием магнитного поля увеличены траектория электронов и число образующихся ионов.

Радиочастотный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются в радиочастотном продольном электрическом поле, образованном последовательно расположенными сетчатыми электродами (радиочастотными каскадами);при этом к коллектору проходят только ионы, ускоренные в радиочастотных каскадах.

Квадрупольный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными цилиндрическими электродами.

Монополярный масс-спектрометр- масс-спектрометр, где ионы разделяются в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов.

Масс-спектрометр с магнитным отклонением - масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям.

Циклоидальный масс-спектрометр- масс-спектрометр, где ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полям, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фокусируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду.

Омегатронный масс-спектрометр - масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движение по спиральным траектория, в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных одно к другому.

Времяпролетный масс-спектрометр - масс-спектрометр, где газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду.

Диапазон измерений вакуумметра - область давлений, в который нормированы допускаемые погрешности измерений.

Чувствительность вакуумметра - отношение изменения сигнала на выходе вакуумметра к вызывающему его изменению давления.

Эквивалентное азотное давление - давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом.

Фоновое давление вакуумметра - условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления.