Общие понятия
« Назад Основные термины, применяемые в вакуумной технике, соответствуют ГОСТ 5197-85; 26790-85 и 27758-88. Кроме того, приведены термины, широко распространенные в технической литературе. Газ - состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами и вещество может занимать любое доступное пространство. В вакуумной технике этот термин широко применяют и к неконденсирующемуся газу, и к пару. Давление газа на ограничивающую поверхность - отношение нормальной составляющей силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, к площади этой поверхности. Давление в определенной точке газового пространства - отношение скорости переноса нормальной составляющей количества движения, определяемое движением молекул в обоих направлениях через рассматриваемую точку, к площади этой области (при наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока). Откачка - уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ. Время откачки - время, необходимое для уменьшения давления в откачиваемом сосуде до определённого значения насосом конкретного типа или вида. Остаточный газ - газ, оставшийся в вакуумной системе после откачки. Предельное остаточное давление - наименьшее давление, которое может быть достигнуто в определенных условиях при использовании конкретных устройств для откачки. Форвакуум - вакуум, создаваемый насосом более низкого вакуума при последовательной работе нескольких насосов. Абсолютное давление газа - давление газа, отсчитываемое от нулевого. Атмосферное давление - абсолютное давление атмосферы. Нормальное состояние газа - состояние газа при нормальных условиях: давлении 101 325 Па и температуре 273 К. Разреженный газ - газ, молекулярная концентрация которого меньше его концентрации при нормальных условиях. Парциальное давление - давление определенного компонента газовой смеси. Полное давление - сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси. Количество газа - масса газа, определенная в виде произведения объема, занимаемого газом, на его давление при данной температуре. Пар - газ, температура которого ниже критической (газ, который можно перевести в конденсированную фазу только повышением давления). Насыщенный пар - пар, давление которого меньше давления насыщенного пара данного вещества при той же температуре. Степень насыщения - отношение давления пара к давлению насыщенного пара. Молекулярная концентрация - число молекул газа в единице объема. Плотность газа - масса единицы объема газа. Плотность газа, приведенная к единице давления- отношение плотности газа к его давлению. Длина свободного пути молекулы - длина пути молекулы между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами. Средняя длина свободного пути молекулы - среднее арифметическое расстояний, которые молекула проходит между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами. Число столкновений в единицу времени - среднее арифметическое числа столкновений молекулы с другими молекулами за единицу времени. Эффективная длинна свободного пути молекул - отношение средней длины свободного пути молекул к вероятности определённого процесса (явления) в результате одного столкновения ( под вероятностью определенного процесса понимают отношение числа столкновений, при которых совершается этот процесс, например ионизация, к числу столкновений за достаточно большой промежуток времени). Диффузия газа - движение газа в другой среде под влиянием градиента концентраций. Коэффициент диффузии - отношение абсолютной скорости потока молекул через единицу поверхности к градиенту концентрации при условии, что поверхность нормальная к градиенту. Течение газа - перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур его концах. Вязкостное течение - течение газа в канале при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшем внутренним поперечным размером канала. Ламинарное течение - вязкостное течение газа, характеризующееся отсутствием перемешивания между соседними слоями газа. Турбулентное течение - вязкостное течение газа, при котором молекулы совершают неустановившиеся беспорядочные движения по сложным траекториям. Пуазейское течение- ламинарное течение в длинной трубе круглого сечения. Молекулярное течение - течение газа в канале при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний поперечный размер канала. Молекулярно-вязкостное течение - течение газа в канале при условиях, промежуточных между условиями вязкостного и молекулярного течений. Эффузионное течение - течение газа через отверстие при условиях, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул. Температура транспирация - течение глаза между соединенными сосудами под действием разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений. Поток молекул - число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени. Результирующий поток молекул - отношение потока молекул, определяемого разностью между числом молекул, пересекающих поверхность за заданный интервал времени в заданном направлении, и числом молекул, пересекающих эту поверхность в обратном направлении к этому времени. Плотность потока молекул - отношение результирующего потока молекул к площади поверхности, которую он пересекает. Массовый поток газа - масса газа, пересекающего определённую поверхность за единицу времени. Объёмный поток газа - объем газа при указанных температурах и давлении, пересекающего определенную поверхность за единицу времени. Молярный поток газа - число молей данного газа, пересекающего определенную поверхность за единицу времени. Проводимость - свойство элемента вакуумной системы проводит газ, определяется как отношение потока к разности средних давлений по обе стороны от элемента в предположении изотермического равновесия. Молекулярная проводимость - свойство элемента вакуумной системы проводить газ, определяется как отношение результирующего потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обе стороны от отверстия или в двух поперечных сечениях канала. Сопротивление - величина, обратная проводимости. Сорбция - поглощение газа или пара твердым телом или жидкостью (сорбентом). Адсорбция - поглощение газа или пара (адсорбата) поверхностью твердого вещества или жидкости (адсорбента). Абсорбция - поглощение газа (абсорбата) объемом твердого тела или жидкости (абсорбента). Физическая сорбция - сорбция под действием физических сил, при которой не образуется химических связей. Хемосорбция - сорбция, при которой образуются химические связи. Коэффициент аккомодации - отношение средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими частицами, к средней энергии, которая может быть передана поверхности налетающими частицами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия. Частота столкновений - отношение числа молекул, сталкивающихся с поверхностью в заданный интервал времени, к этому интервалу времени и площади поверхности. Скорость конденсации - число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени. Скорость прилипания - число молекул, собирающихся на единице площади поверхности в единицу времени. Вероятность прилипания - отношение скорости прилипания к частоте столкновений молекул. Время удержания - среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции. Миграция - движение молекул на поверхности. Десорбция - освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом. Газовыделение - самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум. Обезгаживание - принудительное удаление газа из материала. Скорость испарения - число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени. Проницаемость твердой перегородки - отношение потока газа через перегородку к потоку через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией от давлений по обе стороны от перегородки и ее структуры. Коэффициент проницаемости - отношение произведения проницаемости на толщину перегородки к ее площади. Натекание - проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд. Быстрота откачки - объем газа при фиксированном давлении, откачиваемого в единицу времени. Быстрота действия вакуумного насоса - величина, характеризующаяся быстротой откачки во входном сечении насоса при его работе. Эффективная быстрота откачки - быстрота откачки на конце трубопровода, присоединенного к откачиваемому сосуду. Производительность вакуумного насоса - поток газа через входное сечение насоса. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса - наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса- наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос может осуществлять откачку. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса - наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором он длительное время сохраняет номинальную быстроту действия. Предельное остаточное давление насоса - значение, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без впуска газа при нормально работающем насосе. Время выхода вакуумного насоса на рабочий режим - время с момента включения насоса до момента, когда он может начать откачку при рабочем давлении. « Назад |