Главная \ Статьи \ Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

« Назад

Область применения
     

Настоящий стандарт устанавливает три различных метода измерения быстроты действия и один - измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса.

Первый метод измерения быстроты действия (метод постоянного потока) является основным, при котором постоянный поток газа поступает в насос, пока измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа может быть затруднено или неточно. По этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение не используется.

Второй метод измерения быстроты действия (метод двух манометров) обычно применяется при небольшой величине расхода и низких впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Основан на определении коэффициента давлений в измерительной камере, где стенка с круглым отверстием разделяет ее на две части.

Третий метод измерения быстроты действия (метод постоянного объема) основан на откачке большого объема и удобен для автоматического измерения. Быстрота действия вычисляется по давлениям начала и окончания откачки и по объему измерительной камеры. Такие воздействия, как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные молекулярным потоком при низких давлениях, влияют на измерение давления и, как следствие, на быстроту действия.

Выбор необходимых методов измерения зависит от свойств специфических типов вакуумных насосов (например, измерение критического выпускного давления необходимо только для насосов, которым нужен форвакуумный насос). Все данные, измеряемые на вакуумном насосе, но не описанные в указанном национальном стандарте (например, измерение потребляемой мощности), представлены в стандарте на специфические насосы.

 

Термины и определения

 

быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (volume flow rate): Объем газа, проходящий через входное отверстие насоса за единицу времени, измеренный при давлении в определенном месте.


Примечания

1 Для практических целей быстрота действия насоса для данного газа условно принимается равной отношению его производительности к равновесному давлению этого газа во входном отверстии насоса. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, мГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов/ч или л/с.

2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов".

впускное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (inlet pressure): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.

базовое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (base pressure): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий в вакуумном насосе и измерительной камере (см. 5.4).

Примечание - Предельное остаточное давление - величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере при отсутствии натекания газа: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.

максимальное рабочее давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором вакуумный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.

выпускное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (backing pressure): Давление в выходном сечении вакуумного насоса.

наибольшее выпускное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (critical backing pressure): Величина наибольшего выпускного давления (приводится в руководстве по эксплуатации или стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).

степень сжатия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (compression ratio): Отношение выпускного давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов к впускному давлению ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов вакуумного насоса при нулевой производительности, выраженное формулой

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

измерительная камера (test dome): Специальная присоединенная ко входу насоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.

производительность ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (throughput): Расход газа во входном сечении насоса, определяемый формулой

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов,

где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - впускное давление (давление на входе насоса со стороны высокого вакуума);

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - быстрота действия;

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - время;

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - объем измерительной камеры.

стандартная быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (standard gas flow rate): Быстрота действия при стандартных условиях для газов в соответствии с ISO 3529-1 [2].

 

 

Методы испытания

 

Измерение быстроты действия методом постоянного потока

Метод постоянного потока применяется для всех диапазонов давления и габаритов вакуумных насосов, где измерение быстроты действия возможно с достаточной точностью. Диапазон измерения производительности выбирается умножением ожидаемой быстроты действия на максимальное и минимальное рабочее давление испытуемого насоса.

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

Измерительная камера для метода постоянного потока
Для данных измерений следует применять измерительную камеру, как показано на рисунке 1, с номинальным диаметром впускного фланца ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, равным диаметру впускного отверстия фланца насоса. Верхняя часть камеры напротив впускного фланца может быть плоской, конической или слегка закругленной, с такой же средней высотой над фланцем, как для плоской поверхности. Желательно использовать три фланца для измерения давления на высоте ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов/2 над нижним фланцем, если применяются более одного вакуумметра. Диаметр этих фланцев должен быть равен диаметру фланцев используемых вакуумметров (или больше их), и должны быть указаны их присоединительные размеры. Нельзя располагать измерительный проход под углом (в радиусе) ±45° рядом с впускным проходом для газа. Соединительные каналы между фланцем и камерой не должны выходить за пределы стенки камеры с внутренней стороны, за исключением впускной газовой трубы.

get

Рисунок 1 - Измерительная камера

 1 - патрубок напуска газа и место измерения температуры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов2 - патрубок для подсоединения вакуумметра и масс-  спектрометра; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - внутренний диаметр измерительной камеры, м; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - номинальный диаметр входа переходника, равный  впускному отверстию фланца насоса

 

 

 

 

 

 

Если необходимо для испытуемого насоса, измерительная камера должна быть оснащена устройством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения базового давления.

Объем измерительной камеры зависит от типа насоса.
Для насосов с номинальным диаметром впускного фланца ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов менее 100 мм диаметр камеры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов должен соответствовать 100 мм. Переход к впускному фланцу насоса осуществляется с помощью конического переходника с углом конуса 45°, как показано на рисунке 1.

Экспериментальная установка

Измерительная камера (см. рисунок 2) должна быть чистой и сухой. Чистота насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать ожидаемому базовому давлению. Из-за узкого диапазона измерения расходомеры с разным диапазоном необходимо подключать последовательно. При ограничении потока можно использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и магистралью. Вместо расходомера и клапана следует применять измерители массового расхода с программируемой пропускной способностью, которые комбинируются в параллели на магистрали.

get (1)Рисунок 2 - Схема установки для измерения быстроты действия с помощью метода постоянного потока

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытуемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - расходомер для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов6 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов7 - нагревательная рубашка (дополнительно); 8 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов9 - прибор измерения температуры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

Примечание - Позиции 2 и 8 используются только с высоковакуумными насосами.

 

 

 

 

 

 

 

 Определение быстроты действия

Для измерения быстроты действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, используется метод постоянного потока, для которого производительность ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов устанавливается вне измерительной камеры. Если давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, измеряемое вакуумметром на соответствующей высоте над нижним фланцем (см. рисунок 1), остается постоянным, быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов определяется соотношением

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (1)


где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - базовое давление в измерительной камере (см. 5.4).

Аналогичная формула применяется для определения быстроты действия форвакуумного насоса ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (2)

Быстроту действия можно измерять объемным способом (газовыми бюретками и счетчиками) с помощью эффекта вязкости потока (ротаметром, капиллярами) или (в большинстве случаев) термоэлектрическим массовым расходомером (см. [3]).

Из-за влияния температуры на объем газа во всех случаях объемных измерений необходима коррекция фактора ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, если температуры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов расходомера и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовизмерительной камеры отличаются.

Примечание - Термоэлектрические массовые расходомеры измеряют не производительность, а быстроту действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов при стандартных нормальных условиях для газов в соответствии с [2] (ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов101325 Па и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов273,15 К). Чтобы получить производительность, ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов умножается на фактор ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Следовательно, ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов будет вычисляться формулой

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (3)


Единица измерения "sccm" (стандартный кубический сантиметр в минуту) часто используется для ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Тогда можно получить ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в литрах в секунду [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов л/60 с], [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов101325 Па] и [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов273,15 К] на основе формулы (3) следующим образом:

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов л/с. (4)

Проведение измерений

Камера для проведения измерений представлена на рисунке 1, распределение измерительного оборудования - на рисунке 2. Вначале, когда клапан напуска газа закрыт, базовое давление будет преобладать в измерительной камере (см. 5.4), затем газ подается в нее через напускной клапан. Измерения выполняют при возрастающей величине давления, что позволяет правильно использовать расходомер. В течение этого времени величина температуры окружающей среды должна быть постоянной и сохраняться в пределах ±2 °С.

Когда необходимое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов достигнуто, в пределах колебаний 3% в минуту измеряют давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, температуры окружающей среды и измерительной камеры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, а также производительность ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Если она стабильна в пределах колебаний ±3%, измерение можно считать верным, если нестабильна из-за переходного состояния, стабилизации следует подождать. При измерении производительности в течение более 60 с давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в измерительной камере необходимо измерять каждую минуту. В этом случае оно представляет собой среднюю величину значений измерения. Если при измерении давления производительность колеблется более чем на ±3%, измерение нужно повторить, пока данные не стабилизируются.

Давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов нужно измерять как минимум в трех точках в каждом десятичном диапазоне. Если производительность увеличивается до максимально допустимого значения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, то достигается предельное впускное давление, величина которого может быть ограничена производителем.

Примечание - Быстроту действия можно измерять с разными газами. Когда они меняются, все трубопроводы, подсоединенные к клапану напуска должны продуваться новым газом перед следующими измерениями.

Погрешности измерения

Поток газа должен измеряться с предельной погрешностью ±2,5%, а давление - с погрешностью менее ±3%. Точные измерения необходимо выполнять в соответствии с приложением Б. Общая погрешность измерения быстроты действия должна быть менее 10%.

Результаты измерения

На полулогарифмический график (как показано на рисунке 5) наносят кривую быстроты действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов испытуемого насоса, вычисленную с помощью формулы (1), относительно впускного давления и кривую быстроты действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов форвакуумного насоса (если используется), вычисленную из значений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов относительно ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов так, чтобы определить размер форвакуумного насоса. Диапазон абсциссы покроет весь диапазон давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Должны быть обозначены базовые давления вакуумного ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и форвакуумного насосов ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Отчет об испытании должен содержать, как минимум:

а) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия работы всех используемых вакуумных измерительных приборов и расходомеров;

б) тип и серийный номер испытуемого насоса;

в) скорость вращения ротора и/или условия работы испытуемого насоса;

г) давление жидкости, применяемой в испытуемом насосе, и ее паров при 20 °С;

д) номинальный диаметр ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов входа измерительной камеры или переходника;

е) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если используется);

ж) тип уплотнителей, применяемых на впускном фланце испытуемого насоса;

и) тип маслоотражателей и ловушек, используемых во время испытания, и их температуру;

к) температуру и расход охлаждающей воды;

л) температуру окружающей среды и измерительной камеры;

м) время прогрева и температуру измерительной камеры.

 

Измерение быстроты действия методом двух манометров

Метод двух манометров применяется для высоковакуумных насосов (измерительная камера должна соответствовать условиям для молекулярного течения) и рекомендуется для небольших потоков газа, где нельзя использовать подходящие анемометры. Диаметр отверстия в измерительной камере адаптируется к предполагаемой быстроте действия испытуемого насоса, чтобы избежать слишком высоких давлений, которые могут вызвать ламинарное течение через отверстие.

Измерительная камера

Измерительная камера - цилиндрической формы, как показано на рисунке 3. Стенка с (изменяемым) круглым отверстием разделяет ее на две части. Необходимо устройство для прогрева, обеспечивающее равномерное нагревание камеры.

 Рисунок 3 - Измерительная камераget (2)

1 - патрубок напуска газа; 2 - патрубок напуска газа и точка измерения температуры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов3 - патрубок для подсоединения вакуумметра и масс-спектрометра; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - внутренний диаметр измерительной камеры, м; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - толщина стенки в диаметре отверстия, м; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - давления в измерительной камере, Па (или мбар)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диаметр отверстия в тонкой стенке выбирается в соответствии с ожидаемой быстротой действия (ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<0,1) и должен быть таким, чтобы соотношение давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов находилось между 3 и 30. Необходимо убедиться, что длина свободного пробега молекул газа ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в отверстии не меньше двух диаметров отверстия 2d.

Удельные величины ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов см. в приложении А.

Для насосов с номинальным диаметром впускного фланца ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, равным или большим 100 мм, диаметр камеры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов равен фактическому диаметру впускного фланца.

Для насосов с номинальным диаметром впускного фланца ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов меньше 100 мм диаметр камеры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов должен соответствовать 100 мм. В этом случае переход к впускному фланцу насоса осуществляется через патрубок с углом конуса 45° в соответствии с рисунком 1.

Экспериментальная установка

Измерительная камера (см. рисунок 4) должна быть чистой и сухой. Для всех высоковакуумных соединений рекомендуются прогреваемые фланцы с уплотнителями.

get (3)Рисунок 4 - Схема установки элементов для измерения быстроты действия методом двух манометров

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытуемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - клапан напуска газа; 6 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов7 - вакуумметр для измеренияГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов; 8 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов9 - нагревательная рубашка; 10 - прибор измерения температуры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Определение быстроты действия

Тонкая круглая пластина с отверстием разделяет измерительную камеру на две части (см. рисунок 3). Быстрота действия определяется по формуле

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (5)


где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - расчетная проводимость, учитывающая размер отверстия и свойства газа.

Базовые давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в верхней и нижней частях камеры измеряются после прогревания (см. 5.4) и перед напуском газа. Проводимость отверстия диаметром ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и толщиной ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов можно рассчитать с помощью формулы

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (6)


где 1/(1+L/d) - поправочный коэффициент (только для ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов), определяемый как средняя вероятность перехода молекул газа через отверстие.

В формуле используется безразмерная постоянная величина.

Подставив в формулу (6) такие величины, как [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов8,314 Дж/(моль·К)], [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов28,97·10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовкг/моль] и [ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов293 К (20 °С)], можно получить формулу расчетной проводимости отверстия для воздуха при нормальной температуре

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (7)

где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов измеряется в мГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов/с, а ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - в м, или

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (8)

где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов измеряется в л/с, а ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - в м.

Измерение при методе двух манометров

Расположение измерительных приборов показано на рисунке 4. Сначала после прогревания при закрытых клапанах напуска газа базовые давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов будут преобладать в измерительной камере (см. 5.4).

Регулировка приборов измерения давления

После достижения и записи базовых давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в измерительной камере испытательный газ впускается через клапан напуска (см. рисунок 4, позиция 4), чтобы проверить чувствительность измерительных приборов (см. рисунок 4, позиции 7 и 8).

Так как газ поступает напрямую к входу насоса, фактические давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов одинаковы при постоянном течении потока газа через клапан.

Проводят по крайней мере три измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в каждом десятичном диапазоне с повышающимися давлениями, начиная с двойной пороговой величины базового давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Вычисляют соотношение ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов для каждой пары величин давления, которое должно быть равно 1. Если есть отклонения от 1, чувствительность одного измерительного прибора должна корректироваться с учетом среднего отклонения для каждой декады.

После такой регулировки в измерительной камере устанавливается базовое давление, и можно начинать измерение быстроты действия.

Измерение быстроты действия

Газ нагнетается в измерительную камеру через клапан напуска (см. рисунок 4, позиция 5). Измерения проводят с повышающимися давлениями, начиная с двойной пороговой величины базового давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Когда требуемое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов достигнуто и остается стабильным в течение следующей минуты в пределах ±3%, эту точку можно считать верной. Если давление нестабильно из-за переходного режима, следует подождать его стабилизации.
Проводят измерения как минимум в трех точках в каждом десятичном диапазоне давлений до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов1·10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па или до давления, при котором длина свободного пробега молекул газа (см. [4]) в верхней части измерительной камеры меньше 2ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - диаметр отверстия (см. приложение А). Давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов записываются при каждом измерении.
Быстроту действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов вычисляют по формуле (5).


Погрешности измерения


Перепад давления должен измеряться с погрешностью не более 3% и диаметр отверстия - с погрешностью 0,5%. Если давление в верхней камере повысится до значения, при котором длина свободного пробега молекул приближается к двойному диаметру отверстия, проводимость возрастет на 3% значения молекулярного потока (см. [4]). Для точного вычисления см. приложение Б. Общая погрешность быстроты действия должна быть менее 10%.

Результаты измерения
На полулогарифмический график (см. рисунок 5) наносят кривую быстроты действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовиспытуемого насоса с учетом впускного давления и кривую быстроты действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовфорвакуумного насоса (если используется) с учетом ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, чтобы определить его размер. Быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов испытуемого насоса определяется по формуле (5), быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов форвакуумного насоса - по формуле ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов при значении ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Диапазон абсциссы покроет весь диапазон давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Базовые давления вакуумного насоса ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосови форвакуумного насоса ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов должны быть обозначены.

get (4)Рисунок 5 - Пример кривой быстроты действия

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - впускное давление, Па; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - быстрота действия, л/с; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - быстрота действия испытуемого насоса; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - быстрота действия форвакуумного насоса

 

 

 

 

 

Отчет об испытании должен содержать, как минимум:

а) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия работы всех используемых вакуумных измерительных приборов и расходомеров;

б) тип и серийный номер испытуемого насоса;

в) скорость вращения ротора и /или условия работы испытуемого насоса;

г) давление жидкости, применяемой в испытуемом насосе, и ее паров при 20 °С;

д) номинальный диаметр ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов входа измерительной камеры или переходника;

е) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если используется);

ж) тип уплотнителей, применяемых в клапане напуска газа при определении потока;

и) тип маслоотражателей и ловушек, используемых во время испытания, и их температуру;

к) температуру и расход охлаждающей воды;

л) температуру окружающей среды и измерительной камеры;

м) время прогрева и температуру измерительной камеры.

 

Измерение быстроты действия методом постоянного объема

Метод постоянного объема используется для низковакуумных насосов. Скорость откачки достигается с помощью испытуемого насоса. Данный метод требует измерения давления в зависимости от времени и объема измерительной камеры. Его преимущества заключаются в отсутствии необходимости измерения потока газа и простоте автоматизации процесса.

Однако непрерывная откачка имеет следующие недостатки:

- измерение давления может быть нарушено временем отклика вакуумметров и системой накопления данных;

- происходит падение давления, вызванное как удалением газа насосом, так и его охлаждением в сосуде; охлаждающий эффект меняется в процессе откачки, так как теплообмен между газом и стенками сосуда зависит от давления (при атмосферном давлении процесс откачки близок к изоэнтропическому, который приводит к значительному охлаждению, но при высоком вакууме - к изотермическому, который способствует быстрому нагреванию газа до температуры окружающей среды).

Эти проблемы не возникают при прерывистом процессе, когда сосуд откачивается повторяющимися циклами ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов с промежуточными периодами ожидания ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. В начале цикла сосуд перекрывается (давление записывается как исходное) и откачивается в течение определенного времени ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, пока давление не понизится на несколько процентов. Затем процесс откачки прерывается, и второе значение давления записывается после интервала ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, обеспечивающего тепловую стабилизацию, которая достигается, когда давление приобретает стационарное значение. После этого цикл откачки повторяется.


Все измерительные приборы должны быть калиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

Измерительная камера и метод постоянного объема

Для измерения быстроты действия методом постоянного объема необходимо использовать камеру с не меньшим объемом, чем ожидаемая быстрота действия, умноженная на 120 с. Размеры камеры в трех направлениях в пространстве не могут отличаться больше чем в 10 раз. Все внутренние поверхности измерительной камеры и соединительный трубопровод к насосу должны быть чистыми и сухими. Измерительная камера должна иметь одно всасывающее отверстие с номинальным диаметром, равным или большим, чем отверстие впускного фланца испытуемого насоса, дополнительные отверстия для клапана напуска газа и одно или более отверстий для вакуумметров, которые не должны находиться близко ко входу насоса (см. рисунок 6)

get (5)Рисунок 6 - Схема установки для измерения быстроты действия методом постоянного объема

 1 - измерительная камера; 2 - клапан напуска газа; 3 - испытуемый насос; 4 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов5 - быстродействующий клапан; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - объем измерительной камеры; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - объем соединительного трубопровода между испытуемым насосом и быстродействующим клапаном

 

 

 

 

 

 

 

Быстродействующий клапан
Быстродействующий клапан должен открываться или закрываться менее чем за 0,5 с. Интервал измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов может быть больше этого времени (например, ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов>8 с), чтобы минимизировать его влияние на погрешность измерения скорости откачки. Время реального открывания быстродействующего клапана измеряется с достаточной точностью и включается в вычисления (может отклоняться от времени запуска клапана в зависимости от его типа).

Так как проводимость клапана уменьшает измеряемую быстроту действия испытуемого насоса, нужно выбирать прямопроходный клапан с большим сечением прохода.

Экспериментальная установка

Чистота вакуумного насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать ожидаемому базовому давлению. Все части установки собираются в соответствии с рисунком 6 в чистых условиях. Вакуумный насос подсоединяется через быстродействующий клапан к измерительной камере при помощи короткого трубопровода с достаточным поперечным сечением (см. 5.3.7). Клапан устанавливается близко к впускному фланцу насоса, чтобы минимизировать объем ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов этой части соединительного трубопровода клапана и измерительной камеры, который можно увеличить до большого поперечного сечения. Номинальный диаметр соединительных элементов должен быть равен впускному отверстию насоса или больше него. Объем ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов трубопровода между быстродействующим клапаном и входом в вакуумный насос должен быть меньше 1% объема ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовизмерительной камеры, т.е. ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<0,01ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Давление измеряется вакуумметром для определения абсолютного давления. Длина трубопровода от измерительной камеры до вакуумметра не должна быть более 1 м, номинальный диаметр трубопровода - не более 16 мм.

Определение быстроты действия

Быстрота действия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов вакуумного насоса в интервале ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов между давлениями ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов(при изотермическом процессе откачки газа) вычисляется базовой формулой

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (9)

Погрешность объема ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов измерительной камеры должна быть менее 0,5%. Для определения давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов быстродействующий клапан (см. рисунок 6, позиция 5) между вакуумным насосом и измерительной камерой будет открыт в течение фиксированного времени, равного интервалу ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Разность давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов выбирается при ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<0,1.

Формула (9) применима только для изотермического процесса откачки газа. После закрывания быстродействующего клапана давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов искажено охлаждающим эффектом почти изоэнтропического процесса во время откачки газа. Следовательно, ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов будет измеряться после периода ожидания ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов для выравнивания температуры.

Метод вычисления быстроты действия с помощью формулы (9) имеет два систематических источника ошибки, которые можно корректировать.

Первый источник является следствием наличия объема ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов между насосом и запорным органом быстродействующего клапана (см. рисунок 6). Этот объем откачивается (почти) до базового давления насоса ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в начале интервала измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Когда клапан открывается, происходит быстрое движение газа из объема измерительной камеры ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в объем ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и, таким образом, снижается реальное стартовое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов при интервале откачки до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Формула (10) корректирует падение давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, вызванное движением газа.

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (10)

Второй источник - возможная негерметичность и десорбция газа измерительной камеры, вызывающая дополнительную газовую нагрузку во время ожидания тепловой стабилизации. Чтобы определить воздействие этого эффекта, повышение давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в третьем интервале времени ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, который следует за тепловой стабилизацией, должно измеряться в пределах менее 100 Па. В этом случае влияние негерметичности и скорости десорбции на быстроту действия можно скорректировать заменой ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в формуле (9) на виртуальное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

get (6)Рисунок 7 - Зависимость давления от цикла откачки для измерения быстроты действия методом постоянного объема

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - время; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - впускное давление; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - давления в измерительной камере для метода постоянного объема, измеряемые до и после интервалов ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

 

 

 

 

В начале цикла откачки (1) исходное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов быстро падает до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов из-за открывания быстродействующего клапана. Затем давление снижается до 0,9 ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (2) из-за откачки в интервале ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. После закрытия быстродействующего клапана давление повышается в интервале ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов за счет тепловой стабилизации до значения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (3). Когда давление возрастает от ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (4), влияние негерметичности и скорости десорбции на измерение быстроты действия можно скорректировать экстраполированием наклона кривой в интервале ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов к моменту времени (2). Таким образом, скорректированное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов вычисляют по формуле (11)

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (11)

Применение формул (10) и (11) в формуле (9) дает скорректированную быстроту действия

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. (12)

Проведение измерений

Вакуумметр и вакуумный насос, подсоединенные к измерительной камере, будут действовать при открытом быстродействующем клапане, пока не установятся базовое давление и, по крайней мере, стабильная рабочая температура. Выпускное давление вакуумного насоса должно быть равно атмосферному. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.

При закрытом клапане напуска газ откачивается из измерительной камеры. Когда дальнейшее снижение давления закончится, необходимо зафиксировать базовое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Затем быстродействующий клапан закрывается, и измерительная камера продувается до атмосферного давления тестовым газом. Насосы с базовым давлением ниже парциального давления насыщенного пара воды при комнатной температуре испытываются с помощью сухого воздуха, азота или других тестовых газов. После закрывания клапана напуска газа показания давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов стабилизируются, пока не достигнут постоянного значения (обычно в течение от 30 до 120 с). Затем быстродействующий клапан открывается и одновременно измеряется время для ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Когда перепад относительного давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов приблизится к 0,1, быстродействующий клапан закрывается и измерение времени для ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов прекращается. Давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов записывается после того, как показания стабилизируются на постоянном уровне после интервала времени ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (обычно 30<ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<120 с).

При давлениях ниже 100 Па влияние незначительных течей и скорости десорбции измеряется относительно третьего давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов после следующего интервала времени ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов с закрытым быстродействующим клапаном.

Периодическое повторение процедуры откачки приводит к измерению значений быстроты действия в диапазоне от начального до базового давления насоса с помощью воздуха или других газов, тип которых должен быть определен.

Пределы применяемости
Незначительные течи и скорости десорбции измерительной камеры не сильно влияют на давление. Второе слагаемое формулы (11) не должно превышать 1% ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

В молекулярном режиме течения газа проводимость трубопровода между насосом и измерительной камерой сокращает измеряемую быстроту действия. Чтобы оценить это влияние, проводимость трубопровода ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов определяют по формуле (13)

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (13)


где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - средняя тепловая скорость газа;

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - поперечное сечение трубопровода;

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - длина трубопровода;

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - внутренний диаметр трубопровода.

Метод (см. [4]) может применяться при молекулярном режиме течения газа, если ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Для ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов метод можно использовать только для давлений, где длина свободного пробега молекул газа ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<0,1ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов (см. приложение А).

Оценка измерений
Быстроту действия вычисляют по формулам (10)-(12) и относят ее к среднему значению измеряемых давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Для графического изображения через точки измерения можно начертить выравнивающую кривую, пока она не отклонится от значений измеряемой быстроты действия более чем на 5%. Выравнивающая кривая - это характеристика быстроты действия вакуумного насоса.

Погрешность измерения
Общая погрешность измерения быстроты действия должна быть меньше 10%. Если есть подтверждение, что без коррекции от ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и от ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов до ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов конечная ошибка измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов меньше 10%, тогда ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов могут быть установлены (точное вычисление см. в приложении Б).

 

 

Измерение базового давления

 

Условия испытаний

Условия испытаний вакуумного насоса (частота вращения, жидкость для смазки, охлаждение и т.д.) должны быть указаны производителем, температура окружающей среды - сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

Для данного измерения используют расположение приборов, показанное на рисунках 2, 4 и 6.

Методика испытаний для насосов с базовым давлением более 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па

Измерительную камеру откачивают при закрытых клапанах напуска газа в течение 1-2 ч, пока не будут достигнуты дальнейшее снижение давления в камере и устойчивая рабочая температура насоса.
Если ожидаемое базовое давление находится между 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па, измерительная камера нагревается более 3 ч до 120 °С. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Обезгаживание насоса и измерительной камеры завершается одновременно.
Давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, измеряемое через 1 ч после установления в насосе и измерительной камере устойчивой рабочей температуры, является базовым ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Методика испытаний для насосов с базовым давлением менее 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па

Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 2) необходимо соблюдать требования, предъявляемые к технологиям сверхвысокого вакуума.

Через 1 ч после запуска насоса измерительную камеру нагревают до максимальной температуры от 150 °С до 300 °С. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части вакуумного насоса должна контролироваться в пределах, установленных этой инструкцией.

Обезгаживание вакуумного насоса и измерительной камеры прекращается одновременно, когда достигается давление, в 100 раз превышающее ожидаемое базовое давление, но не позднее чем через 48 ч прогрева. Процедура обезгаживания приведена в отчете по испытанию. Ионизационный манометр дегазируется в соответствии с рекомендациями производителя во время и в конце процесса не позднее чем за 2 ч до начала измерения. Одновременно фиксируется давление в выходном сечении насоса ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.
Давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в камере, измеряемое через 48 ч после окончания обезгаживания прогревом, является базовым ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов для вакуумного насоса. Изменение функции давления от времени не должно быть положительным.

Оценка измерения

Отчет по испытанию включает процедуру нагрева (время и температуру) и базовое давление, которое необходимо для вычисления степени сжатия и быстроты действия.

 

Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления

 

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

Экспериментальная установка

Экспериментальная установка для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления показана на рисунке 8.

get (7)Рисунок 8 - Схема установки для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытуемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - клапан напуска газа; 6 - вакуумметр для измерения ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов7 - вакуумметр для измеренияГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов8 - вакуумметр или масс-спектрометр; 9 - регулируемый клапан; 10 - нагревательная рубашка (дополнительно)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Поверхности измерительной камеры, уплотнители и фланцы должны соответствовать ожидаемому базовому давлению. Для давления менее 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па должны быть использованы прогреваемые фланцы с уплотнителями.
Рекомендуется установка нескольких вакуумметров на разные диапазоны давлений. Для давлений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов<10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па должен быть применен масс-спектрометр.

Если используют несколько ионизационных датчиков, прямое соединение источников ионов недопустимо.
Для получения низкого базового давления 10ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов Па на форвакуумной стороне рекомендуется поместить турбомолекулярный насос между клапаном напуска газа и форвакуумным насосом. Вакуумметр (см. рисунок 8, позиция 6) должен устанавливаться как можно ближе к выходу испытуемого насоса на выпускном трубопроводе с равным ему диаметром. Соединительный трубопровод с вакуумметром должен быть перпендикулярен линии оси выпускного отверстия. Необходимо, чтобы он был смещен вверх от клапана напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4). Нужно установить регулируемый клапан для дросселирования потока газа к форвакуумному насосу для сохранения газа для испытания, который должен иметь чистоту 99,999% по массе.

5.5.2 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления

Степень сжатия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов определяется по формуле

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, (14)


где ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - базовые давления испытуемого и форвакуумного насосов.
Для измерения степени сжатия газ впускается в выходной канал испытуемого насоса и определяются давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Максимальное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, при котором испытуемый насос (см. рисунок 8, позиция 3) может непрерывно откачивать газ, является наибольшим выпускным ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

Проведение измерений
Для каждого тестового газа сначала должно быть получено базовое давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов в измерительной камере (см. 5.4). Соответствующее форвакуумное давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов может быть небольшим по сравнению с повышением давления для первой точки измерения, вызванным впуском газа. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.
Клапан напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4) открывают так, чтобы давление ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовповышалось постепенно. Значения форвакуумного давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и впускного давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосовзаписывают одновременно, когда они стабильны, в пределах ±5% за 1 мин.

Измерения фиксируют в трех точках в каждом десятичном диапазоне форвакуумного давления.

Продолжают измерение, пока ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов не достигнет наибольшего выпускного давления ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов, определенного производителем испытуемого насоса либо специальным стандартом для этого типа.

В зависимости от типа насоса измерения степени сжатия можно выполнять с производительностью "0" или заданной для испытуемого насоса, если это предусмотрено руководством по эксплуатации или его специальным стандартом.

Погрешность измерения
Погрешность измерения степени сжатия можно установить только для значений ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосови ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - должна быть меньше или равна ±20%.

Оценка измерений
Впускное давление (ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов и степень сжатия ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов относительно ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов наносят на логарифмическую шкалу. Кривые для различных тестовых газов будут четко показаны на каждой диаграмме.

Примечание - Кривые на рисунке 9, пересекающие ось абсцисс в интервале от 10 до 200 Па, характеризуют степени сжатия нормальных турбомолекулярных насосов с наибольшим выпускным давлением ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов для различных газов в пределах 100 Па. Три кривые, пересекающие ось абсцисс при значении выпускного давления примерно в 10 раз выше, - характеристики тех же турбомолекулярных насосов, но со ступенями Holweck при соответствующих значениях ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов.

get (8)Рисунок 9 - Кривые коэффициента сжатия турбомолекулярных насосов

ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - форвакуумное давление, Па; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - степень сжатия; ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов - наибольшее выпускное давление, Па

 

 

 

 

 

 

 



« Назад